出版情報	東京 : 丸善 , 1986.6-[1988.1]
大きさ	[8]冊 ; 22cm
一般注記	予定では全10冊. 8冊既刊で、2冊は未刊: シリコン結晶とドーピング(1986.6); VLSIデバイスの物理(1986.7); VLSIの薄膜技術(1986.9); フェライト(1986.11); シリコンの物性と評価法(1987.7); サブミクロンデバイス 1-2(1987.7-1988.1); ガリウムヒ素(1988.1); アモルファスシリコン(未刊); 混晶半導体と超格子(未刊)--(1992.9現在のシリーズ広告による)
本文言語	日本語
書誌ID	TB00113901
NCID	BN00201165