| 出版情報 |
東京 : アグネ , 1977.5 |
| 大きさ |
144p ; 22cm |
| 別書名 |
原タイトル:Bedampfungs-technik : verfahren Einrichtungen Anwendungen |
| 一般注記 |
文献:p139〜144 |
| 著者標目 |
Schiller, Siegfried, 1933-
Heisig, Ullrich, 1933-
日本真空技術株式会社 <ニホン シンクウ ギジュツ カブシキ ガイシャ>
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| 件 名 |
NDLSH:薄膜
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| 分 類 |
NDC6:549
NDLC:ND351
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| 本文言語 |
日本語 |
| 書誌ID |
TB00073104 |
| ISBN |
4750704091 |
| NCID |
BN02783006
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| 巻冊次 |
ISBN:4750704091 ; PRICE:3000円
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