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微細加工とレジスト / 野々垣三郎著
ビサイ カコウ ト レジスト
(高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3)

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越中島図書館 / 一般図書
578.08/K 1/3 50000169557 169557 4320042271

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出版情報 東京 : 共立出版 , 1987.11
大きさ iv, 99p ; 19cm
著者標目  野々垣, 三郎 <ノノガキ, サブロウ>
件　名 BSH:集積回路
NDLSH:集積回路
NDLSH:電子光学
分　類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
本文言語 日本語
書誌ID TB00066954
ISBN 4320042271
NCID BN01734322
巻冊次 ISBN:4320042271 ; PRICE:1030円
目次／あらすじ

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