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短波長フォトレジスト材料 : ULSIに向けた微細加工 / 上野巧[ほか]著 ; 有機エレクトロニクス材料研究会編
タンハチョウ フォト レジスト ザイリョウ : ULSI ニ ムケタ ビサイ カコウ
(有機エレクトロニクス材料シリーズ ; 1)

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越中島図書館 / 一般図書
549.08/Y 1/1 50000187487 187487 4893900013

書誌詳細を非表示

出版情報 東京 : ぶんしん出版 , 1988.12
大きさ 230p ; 18cm
著者標目  上野, 巧 <ウエノ, タクミ>
 有機エレクトロニクス材料研究会 編 <ユウキ エレクトロニクス ザイリョウ ケンキュウカイ>
本文言語 日本語
書誌ID TB00049739
ISBN 4893900013
NCID BN05493589
巻冊次 ISBN:4893900013 ; PRICE:2500円
目次／あらすじ